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枚葉式潔淨度烤箱

 基本規格
對應玻璃尺寸

第1~第10世代

溫度範圍 +90~+300℃
溫度分布

±4.5℃(玻璃表面溫度AT +230℃)

潔淨度 Class4(FED規格:相當Class10)
顆粒徑0.3μm 100個以內/lft3
選配件 昇華物UNIT